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?高精度CNC影響測量系統ULTRA QV404PRO,具有高水平的測量精度E1XY: (0.25+L/1000)μm。
?Y軸采用高剛性固定橋式移動工作臺設計,X和Y軸導軌具有出色的耐磨性。底座采用具熱穩(wěn)定性強的巖石平板。
?采用膨脹系數幾乎為零的微晶玻璃材質,分辨率高達0.01μm的高精度光柵尺。通過“自吸型墊”,實現了Y軸的高剛性化,將滾珠絲杠浮動機構帶來的誤差控制在最小限度,并提高行駛速度。
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規(guī)格
型號 | QA-Active 202 | ||
類型 | 標準 | ||
測量范圍(XxYxZ) |
250x200x150mm |
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倍率裝置 | 可編程電動轉臺 1X -2X -6X | ||
影像裝置 | 黑白CCD (1/2型) | ||
測量精度 | X-Y軸 | (0.25+L/1000)μm | |
Z軸全行程 | (1.5+2L/1000)μm(范圍200mm) | ||
Z軸50mm行程 | (1.0+2L/1000)μm(范圍10-60mm) | ||
XY平面 | (0.5+2L/1000)μm |
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